半導体製造装置用超精密位置決めステージ
日刊工業新聞十大新製品賞受賞
NTT通信エネルギー研究所研究開発賞受賞
Key Technology：加工装置（精密決めシステム）の高精度化・小型化
集積回路（LSI）の高機能化は，加工線幅の微細化によって実現されます（下図）．それ故，この加工線幅微細化のための超精密な加工装置が求められます．
一方，電磁力を用いた従来の駆動源では，位置決め精度と装置の小型化に限界があります．そこで，まったく新しい駆動システムが要求されています．
研究成果と目標
超音波モータを駆動減とする超精密位置きめステージを提案し，摩擦駆動部の摩耗制御により， 従来の3倍の位置決め精度，1/2サイズの
電子ビーム描画装置用精密位置決めシステム
を実現しました．さらに，ナノメートルオーダの位置決めを実現するために不可欠な 摩耗制御のための機器設計，駆動のためのソフト設計の構築を目指しています．
電磁のノイズの発生しない摩擦を駆動源とする超音波モータにより，従来不可能であった精密位置決めシステムを可能にします．
