硬質薄膜とセラミックスの吸着ガス潤滑システムの研究
硬質薄膜を用いた吸着ガス潤滑システムがMEMSと精密機械の接触面の未来を開く
窒化炭素膜に窒素ガスを吸着させることにより無潤滑状態にもかかわらず 油潤滑と同等の0.003の低摩擦係数が実現される． 油や摩耗粉が問題となる固体潤滑剤の使用が困難なマイクロマシンをはじめとする小型機器の潤滑法として期待される． 本研究では，吸着ガスによる低摩擦の発生機構の解明とその実用化のための窒化炭素膜の創成及びトライボシステム設計指針の構築を目指す．
現在研究中のテーマ(2007年度)
- 窒化炭素膜の窒素ガス潤滑に関する研究
- 窒素ガス中における窒化炭素膜の低摩擦発生のためのなじみ制御に関する研究