超精密位置決めのための超音波モータを用いた摩擦駆動の研究

摩擦による駆動システムが高精度機械と精密加工領域を切り開く

超音波モータ 超音波モータ

世界初の超音波モータ(USM:Ultra Sonic Motor)を用いた摩擦駆動による超精密位置決めステージを開発している. 従来の電磁モータ駆動型ステージと比較し1/2の小型化,3倍の高精度化を実現している. その成功の鍵は,摩擦駆動部での摩耗制御にある. 本研究では,摩擦部に優れた耐摩耗性を有するセラミックスを導入し, その摩耗制御のための機器設計,駆動のためのソフト設計の構築を目指している.

現在研究中のテーマ(2007年度)